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" Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten "


Document Type : BL
Record Number : 720558
Doc. No : b540253
Main Entry : Rolf Herz.
Title & Author : Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten\ Rolf Herz.
Publication Statement : Berlin ; New York: Springer-Verlag, 1989
Series Statement : IPA-IAO Forschung und Praxis, Bd. 138.
Page. NO : 123 pages : 61 illustrations ; 21 cm.
ISBN : 0387514570
: : 3540514570
: : 9780387514574
: : 9783540514572
Contents : Inhaltsubersicht: Abkurzungen und Formelzeichen.- Einleitung.- Stand der Technik.- Analyse der Partikelquellen und der verfugbaren Partikelmesstechnik.- Anforderungen an die Prufverfahren.- Konzeption von Prufstanden fur Kontaminationsuntersuchungen.- Praktische Kontaminationsuntersuchungen.- Untersuchungsergebnisse.- Mess- und Prufrichtlinien fur Versorgungskomponenten von Prozessflussigkeiten.- Bewertung.- Zusammenfassung und Ausblick.- Literaturverzeichnis.
Subject : Contamination (Technology)
Subject : Electronic apparatus and appliances -- Design and construction.
Subject : Semiconductors.
LC Classification : ‭TK7836‬‭.R654 1989‬
Added Entry : Rolf Herz
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